金融界2024年11月15日消息，国家知识产权局信息数据显示，武汉楚兴技术有限公司申请一项名为“一种晶圆清洗监控方法及设备”的专利，公开号CN 118943033 A，申请日期为2023年5月。
专利摘要显示，本申请提供一种晶圆清洗监控方法及设备，方法有：获取晶圆在正常清洗情况中的色度区间和亮度区间，获取晶圆在实际清洗过程中预设时刻的实际色度值和实际亮度值，结合实际色度值与色度区间的比较结果，和/或实际亮度值与亮度区间的比较结果，确定在预设时刻晶圆是不是真的存在清洗不正常的情况。也就是说，当获取得到的晶圆表面的实际色度值或实际亮度值不处于正常的色度区间或亮度区间时，则晶圆表面存在清洗不正常的情况，反映出清理洗涤效果较差。由此可见，通过利用晶圆表面的实际色度值和实际亮度值，结合正常的亮度区间和色度区间就能够确定晶圆在清洗过程中是不是真的存在表面清洗不正常的情况，可以在一定程度上完成自动且实时的晶圆清洗监控，从而及时有效地发现晶圆的清洗异常。